蔡司三坐标检定咨询

我们厂的蔡司三坐标最近刚叫蔡司售后的人来做了维护保养。我们机子的精度是1.5+L/300，在进行MPE-E验收的时候，y轴的测量我有些困惑，根据蔡司的规定，y轴用100-500的量块在右边靠近光栅尺的地方和左边远离光栅尺的地方分别测量10次，取平均值。但是测量的结果是远离光栅尺的地方测得值比较好，虽然两个地方测量的值都在精度范围内，但是我认为远离光栅尺的地方测量值应该偏差比较大啊！不知道出现这种数值是为什么，蔡司的人认为是正确的，而且他的检定程序是全球通用的肯定没有错的。

靠近光栅尺地方测量

远离光栅尺地方测量

左边数据是靠近光栅尺，右边数据是远离光栅尺。

现在论坛里未免也太冷清了吧！

主要是写的东西看不明白，你想说什么
单从2份数据上看，这台仪器挺好的

哈哈 ，一般 通常的原理就是说，远离那个光栅尺的那边因为距离变形等原因，会跟光栅尺的数据不一致程度会大些，其实现在是检定的，已经补偿过了，可能软件就是按远离的数据补偿的，所以比较好。

这个主要看他在哪标定了，在远离的标，远离的数据就好，在近的标就近的好
总之都要在误差内就可以了

精度是1.5+L/300的设备，两个位置的数据最多仅差0.4微米，这么小的差异是且仅用一个100MM的量块测量的数据是说明不了什么问题的。楼主还应该再看其它量块特别是500MM量块在两个位置差异，并再进行综合比较。