激​光​干​涉​仪​使​用​技​巧

1引言

高性能激光干涉仪具有快速、高准确测量的优点，是校准数字机床、坐标测量机及其它定位装置精度及线性指标最常用的标准仪器，作者所在单位使用的是英国RENISHAW公司生产的ML10激光干涉仪，具有性能稳定，使用方便等特点。

通过较长时间使用，作者认为测量人员除了要考虑环境、温度、原理等影响测量的常规因素外，掌握一些激光干涉仪的使用技巧会使测量互作事半功倍。

作者：魏纯
单位：广州市计量检测技术研究院,广东,广州,510030
摘要：本文讨论了激光干涉仪在使用中的准直等技巧，用户在实际使用中增加配件以及维护中遇到的问题。