请各位帮忙推荐一下非接触测量的三座标

       因为老仪器坏了，需要报计划采购一台新设备，主要用于测量薄壁件等容易变形的工件直径。要求是能够非接触测量圆柱孔内定高截面的内径或圆柱定高截面的外径。精度最好在1微米左右（1+L/... 微米）一般测量范围在250毫米就可以了，通常测量150以下的工件。
       我找到的仪器资料大部分是测量表面的，不能测到孔内部，而且精度也不够。

影像式三次元我推荐NIKON的NEXIV系列
好像型号是VMR-3020这样子的，具体参数可以google一下

超高精度版VMR-H3030（X，Y，Z／300x300x150mm）精度：Uxy＝0.6＋2L／1000um　Uz＝0.9＋L／150um 精度倒是可以，不过好像这台仪器是ccd成像的只能测量工件表面或者不太厚的工件。对于比较厚的圆柱孔内部定高截面孔径恐怕无法成像。
谢谢了。

MICROVU品牌较稳定, 具体型号可问供应商