SJ/T 31111-94AMC—7811/21型桶式外延炉完好要求和检查评定方法

【 标准编号 】 SJ/T 31111-94
【 标准名称 】 AMC—7811/21型桶式外延炉完好要求和检查评定方法  
【 发布单位 】 CSIC-SJ
【 批准单位 】 中华人民共和国电子工业部
【 发布日期 】 1994-4-15
【 实施日期 】 1994-6-1
【 开本页数 】 3P
【 起草单位 】 中国华晶电子集团公司
【 起 草 人 】 秦舒; 张国仁; 顾军建; 吴正伟