GB/T 18994-2003电子工业用气体 高纯氯

【 标准编号 】 GB/T 18994-2003
【 标准名称 】 电子工业用气体 高纯氯  
【 英文名称 】 Gases for electronic industry—High purity chlorine
【 发布单位 】 国家质量监督检验检疫总局
【 发布日期 】 2003-3-5
【 实施日期 】 2003-8-1
【 开本页数 】 7P
【 引用标准 】 GB 190; GB 5099; GB/T 5274; GB/T 5832.1; GB 7144; GB/T 7445; GB/T 8980
【 采用关系 】 SEMI C3.32-1995,NEQ
【 起草单位 】 光明化工研究设计院
【 起 草 人 】 孔祥芝; 余中玉