GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的

【 标准编号 】 GB/T 17866-1999
【 标准名称 】 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则  
【 英文名称 】 Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysis of mask defect inspection systems
【 发布单位 】 国家质量技术监督局
【 批准单位 】 国家质量技术监督局
【 发布日期 】 1999-9-13
【 实施日期 】 2000-6-1
【 开本页数 】 12P
【 引用标准 】 GB/T 16880-1997; SJ/T 10584-1994
【 采用关系 】 IDT SEMI P23:1993
【 起草单位 】 中国科学院微电子中心
【 起 草 人 】 陈宝钦; 陈森锦; 廖温初; 刘明