GB/T 12963-1996 硅多晶

【 标准编号 】 GB/T 12963-1996
【 标准名称 】 硅多晶  
【 英文名称 】 Polycrystalline silicon
【 发布单位 】 国家技术监督局
【 批准单位 】 国家技术监督局
【 发布日期 】 1996-11-4
【 实施日期 】 1997-4-1
【 开本页数 】 5P
【 替代标准 】 GB 12963-91
【 引用标准 】 GB/T 1550; GB/T 1553; GB/T 1554-1995; GB 1558-83; GB 4059-83; GB 4060-83; GB 4061-83
【 采用关系 】 SEMI M16-1989,EQV
【 起草单位 】 峨眉半导体材料厂; 中国有色金属工业总公司标准计量研究所
【 起 草 人 】 王鸿高; 尹建华; 刘文魁; 吴福立