GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板

【 标准编号 】 GB/T 15871-1995
【 标准名称 】 硬面光掩模基板  
【 英文名称 】 Hard surface photomask substrates
【 发布单位 】 国家技术监督局
【 批准单位 】 国家技术监督局
【 发布日期 】 1995-12-22
【 实施日期 】 1996-8-1
【 开本页数 】 12P
【 引用标准 】 GB 191-90; GB 2828-87; GB 2829-87; GB 3102.3-93; GB 7238-87; GB 9622.2-88; SJ/T 10584-94
【 采用关系 】 NEQ SEMI Semi P1-92
【 起草单位 】 长沙韶光微电子总公司; 电子工业部标准化研究所
【 起 草 人 】 吴保华; 王亦林; 赵雨生; 谈仁良