JJG48-2004 硅单晶电阻率标准样片检定规程

【 标准编号 】 JJG 48-2004
【 标准名称 】 硅单晶电阻率标准样片 
【 英文名称 】 Standard Slice of Single Crystal Silicon Resistivity
【 发布单位 】 国家质量监督检验检疫总局
【 发布日期 】 2004-9-21
【 实施日期 】 2005-3-21
【 开本页数 】 20P
【 替代标准 】 JJG 48-1990
【 起草单位 】 中国计量科学研究院; 广州半导体材料研究所
【 起 草 人 】 鲁效明; 谢鸿波