光栅线位移测量装置 (征求意见稿)
光栅线位移测量装置 (征求意见稿)光栅线位移测量装置（系统）以刻线间距进行长度量值传递，其系统成基本原理如图1，主要由长度标准值的产生、探测、信号处理三部分组成，以光栅尺刻线间距（栅距）作为长度量值的标准源值，通过“测头”与“光栅尺”的相对位移扫描获得与光栅线刻划周期一致（或为倍数关系）的周期电信号，信号处理系统对周期电信号进行鉴相、倍频、细分后进行位移计算、误差修正补偿，最终输出位移结果。
光栅线位移测量装置（系统）具有多种类型划分方法，按结构可分为敞开式和封闭式，按型式分为带参考零位和不带参考零位，按照光栅栅线位置的探测原理可分为基于几何影像莫尔条纹原理和基于衍射后进行干涉测量的衍射光栅。
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