SJ/T 10584-94微电子学光掩蔽技术术语
【 标准编号 】 SJ/T 10584-94<BR>【 标准名称 】 微电子学光掩蔽技术术语 <BR>【 英文名称 】 Terms of photomasking technology for microelectronics<BR>【 发布单位 】 中华人民共和国电子工业部<BR>【 批准单位 】 中华人民共和国电子工业部<BR>【 发布日期 】 1994-8-8<BR>【 实施日期 】 1994-12-1<BR>【 开本页数 】 29P<BR>【 起草单位 】 电子工业部标准化研究所; 韶光电工厂<BR>【 起 草 人 】 吴保华; 于向东; 阵宝钦; 冯朝斌; 陈华龙; 廖温初<BR>
页:
[1]