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[工程参量] 平晶平面度如何计算?

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柔指轻敲 发表于 2007-8-26 12:59:47 | 显示全部楼层 |阅读模式
JJG28-2000 附录D,25页,说
"当被检工作面小于或等于100mm时,按下式计算平面度  △f=(d↑2/95)*f95  "
这时不需要测量条纹间距a和弯曲量b吗?如何理解呢?
zssugen 发表于 2007-8-26 17:24:27 | 显示全部楼层

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      对高精度的小平面,其平面度误差通常用平晶测量,测量时,将平晶的工作面置于被测表面上,并稍作倾斜以形成一个很小的空气楔,根据光波干涉原理,可看到光波干涉带。当干涉条纹呈现相互平行且为直的明、暗条纹时,则平面度误差为零。改变平晶与实际表面的夹角,干涉条纹之间的距离将产生变化,空气楔角增大,干涉条纹变密;反之,干涉条纹变疏。当平晶与被测实际表面形成封闭干涉条纹时,平面度误差为干涉条纹数乘以光波波长之半,若干涉条纹为不封闭的弯曲形状,平面度误差f为干涉条纹弯曲度与相邻两条纹间距之比(a/b),再乘以光波波长之半,即f=a/b×(λ/2)。

[ 本帖最后由 duomeiti 于 2007-8-26 18:47 编辑 ]

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深圳渔民 发表于 2007-8-27 10:47:43 | 显示全部楼层

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你没有仔细看规程。这里说的是"当被检工作平晶直径于或等于100mm时,应按下式计算标准平晶在该区域的平面度”。目前各单位用的等厚干涉仪多是北京计量仪器厂出的,标准平晶直径150mm,检定证书会给两个平面度值,全范围的和D96(也就是中心2/3直径)的平面度。当被检平晶直径等于100mm时,应该用D96平面度值,当被检平晶直径小于100mm时,要按规程D.2公式计算标准平晶在该区域的平面度,实际就是计算修整量。

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深白色 发表于 2007-9-4 11:26:45 | 显示全部楼层

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还有一点需要注意,就是规程上的公式是有印刷错误
九江风云 发表于 2007-9-14 19:11:14 | 显示全部楼层
估算出来准确吗?不是太好理解。
gj3711 发表于 2007-9-15 00:12:01 | 显示全部楼层
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