咨询金相显微镜的校准方法

公司有一台上海产的金相显微镜，主要用来测试产品的镀层厚度，厚度大约都在2UM-35UM之间，现在有一个光学校正板（就是一个板上有一些小圆孔，分别是0.1mm,0.25mm,0.5mm,0.75mm)领导让用这个东西校显微镜（校正板是校过的）我测试出来一些数值，就是不知道该如何叛断是不是合格，

0.1mm	0.1mm
0.25mm	0.25mm
0.5mm	0.52mm
0.75mm	0.775mm
标称值	测得值

计量院校正光学校正板的结果

标称直径	校准结果
0.75mm	0.748mm
0.5mm	0.499mm

结果不确定度U=0.003mm,K=2

你看镀层厚度时，看的是剖面吧？

金相显微镜不是计量仪器，应该没有计量意义上的“校准”可做。最多也就是用您所说的光学校正板校正一下倍率精度，或者说是单一像素的尺寸。

金相显微镜的物镜是有畸变的，即视场内各点的倍率是不一样的；CCD各像素之间也并非没有误差。
到现在为止，还没有那家公司是进行逐一像素校正的。

对，看的是剖面，这个是不是应该校对物镜就可以了，物镜是自己校对还是送计量院？

要校正的是观测倍率，该倍率不仅与物镜有关，还与放大光路中的其它部分有关，这里面也包含了从CCD靶面到显示窗上的放大。
物镜不用送计量院，就算送过去也没有用。因为：
物镜的各种象差，尤其是畸变，对测量精度是有影响的，现在没有人能够在视场内，把各点，即各个位置的畸变都给修正了，CCD像素当量尺寸校正也只做一个像素的，而实际上显示窗内的每个像素尺寸是有细微区别的，这一区别也会影响到你的测量精度。
目前，国外最好的做法，就是尽可能地控制整个放大系统，尤其是物镜的象差，特别是物镜的畸变。当象差对测量精度的影响降到现在人们可以忽略的程度时，我们就可以暂时不去考虑它的影响了。实际上有很多半路出家制作光学量仪的公司，由于在这方面不专业，自己不能去控制这类指标，所以自己也就不提此事，也不去管它了。
再次重申：金相显微镜在概念上，不属于任何计量仪器，所以我认为它不需要做任何计量意义的送检。
当然，如果你们领导要把它当作量仪来对待，那我也没有办法。那样的话，只好请你自己跟计量部门沟通，看他们如何能够满足你们领导的要求了。

朋友，你确实很专业，你说讲的这些我目前还不是很懂，因为一些专业述语，我需要多读几编。不过你最后一席话，我想他确实很重要。

不必客气。
光学很难的，我也学得不好，只知道成象误差一共有两种色差、五种象差，加在一起是七种色象差，其中畸变属于象差的一种，它从视场中央往外是呈三次幂增长的，对精密尺寸测量影响大，且很不容易消除。
另外再提一点，就个人经验来说，一般金相物镜畸变所引入的倍率变差，通常都＞1%，即每mm偏差10um以上。但不知这种量级的误差你们公司是否可以承受，而漠视不理。
既然，视场内各点的倍率不同，那么校正板上的被测圆在视场内摆放的位置不同，测得值也必然不同，因此光看1楼的那张表不能说明多少问题。当然，如果测量精度要求很低，那就无所谓了。

可以根据JJG(教委)012-1996金相显微镜检定规程,主要是物镜实际放大倍数检定。方法：将0.01mm分刻度板放置在载物台上，又将待检的物镜装转到工作位置，把0.1mm分刻度目镜测微尺插入光路中，然后对0.01mm分刻度板聚焦观察0.1mm分刻度的格数与0.1mm分刻度多少格相重合，通过计算，得物镜实际放大
倍数
    M＝  目镜分刻度格数×0.1/物镜分刻度格数×0.01

7楼的朋友：

视场内各点的倍率是不同的，所以用你介绍的方法得到的倍数M，只有参考意义。这和楼主想了解的问题，恐怕是两码事。

学习，正好有台金相显微镜，还不知道怎么校对。