“微纳技术计量标准和标准物质研究”启动

“十二五”国家科技支撑计划项目
“微纳技术计量标准和标准物质研究”启动

　　3月6日，“十二五”国家科技支撑计划重点项目“微纳技术计量标准和标准物质研究”启动会在中国计量科学研究院召开。科技部条财司副司长吴学梯，项目领导小组组长、中国计量科学研究院副院长宋淑英，由金国藩、叶声华、张钟华3位院士领衔的项目咨询专家组，国家质检总局科技司、计量司相关人员，项目领导小组、项目管理办公室及各课题负责单位相关人员等近百人参加了本次启动会。

　　

                                   图1：科技部条财司副司长吴学梯在启动会上讲话
　　科技部条财司副司长吴学梯在启动会上指出，微纳技术是科技发展的前沿领域之一，我国在此领域已取得一定的发展，但是在产业化方面与国外发达国家仍有一定的差距。希望通过该项目的启动实施，为我国微纳技术产业化提供计量技术标准、标准物质等技术支撑。他说，该项目属于前沿研究，具有很大的挑战性，希望中国计量院结合自身特点并联合国内相关优势单位，在这一领域取得好的成绩，为我国微纳技术及其产业化的发展做出更大贡献。

　　

                                   图2：项目领导小组组长、中国计量院副院长宋淑英讲话
　　项目领导小组组长、中国计量科学研究院副院长宋淑英在发言中指出，近年来，得益于国家的大力支持，中国计量院取得了可喜的科技成果并得到社会各界的认可。该项目是计量院“十二五”期间启动的第二个科技支撑计划项目，计量院将继续做好支持和服务工作，按照国家有关规定和项目管理的要求，与各课题参与单位互相配合，共同协作，作出服务于微纳技术发展的新成果。

                                   图3：启动会现场

                                   图4：启动会现场
　　启动会上，在前期研读的基础上，项目咨询专家组的13位咨询专家对《“微纳技术计量标准和标准物质研究”项目管理办法（征求意见稿）》进行了热烈的讨论并提出修改意见。项目负责人、中国计量院纳米新材料所副所长高思田从项目的意义及必要性出发，汇报了项目的总体目标及预期成果、考核指标、课题分解及任务设置、管理机制等相关情况。各课题组负责人分别详细汇报了课题的主要研究内容、考核指标、实施方案、经费安排等。

                                   图5：项目负责人、中国计量院纳米新材料所副所长高思田汇报项目情况
　　微纳技术包括微纳米材料、结构、器件、系统的设计制造及测量技术，涵盖了微电子、MEMS/NEMS、纳米技术等高新技术领域，在我国战略性新兴产业发展过程中具有重要作用。近年来，微纳技术的发展对计量学提出了严峻的挑战，高准确度的微纳结构特性计量基标准、标准物质以及微纳器件和部件是保证微纳技术领域快速可持续发展的重要技术支撑。当前，我国微纳技术研究成果已与先进国家相当，产业化进程显著加快，不少产品的产量位居世界前列。但高端产品短缺数量少、品质差，缺乏市场竞争力，高水平的基础研究成果难以产业化。究其原因，主要就是微纳计量技术的研究严重滞后、计量基标准和标准物质严重匮乏，核心技术严重落后，难以支撑我国微纳技术产业化的发展。
　　项目组在前期调研分析基础上制订了微纳结构特性量值溯源体系发展路线图。据此，该项目将在微纳几何结构计量技术研究、微纳结构化学特性计量技术研究、微纳力学特性计量技术研究和微纳计量仪器的核心器件及部件的研制4个方向开展研究。计划建立基标准装置6套、研制标准物质7类19-26种、研制计量用微纳核心器件3类和关键部件1套、建立测量系统4套与测量方法4项，初步建立较为完整的微纳技术计量传递体系，项目成果水平将达到或超过美国等发达国家现有水平。
　　“微纳技术计量标准和标准物质研究”项目的组织实施单位为国家质检总局，中国计量科学研究院为项目承担单位，并负责其中6个课题，清华大学、合肥工业大学、沈阳建筑大学等22家高校、科研机构和企业参与本项目的研究。项目周期4年，包括：紫外光学二维微纳几何结构标准装置及标准物质的研究；计量型扫描电镜及双探针扫描探针显微镜标准测量装置的建立；微纳几何尺度光学衍射/散射测量技术研究；碳基纳米材料结构参数与特性量计量标准的建立；材料表面分析及纳米粉体材料计量标准的建立；微克质量及微纳力值标准的建立与溯源中的关键技术研究；微纳结构机械力学性能测量技术的研究；用于计量的微纳集成器件关键技术研究；纳米位移定位控制技术和系统的研发等9个课题。
　　随后，与会专家分别进行点评并提出项目实施意见建议。
　　宋淑英副院长在总结发言中对与会专家的意见建议表示感谢，她表示，在项目实施过程中将充分吸收专家组的意见要求，按照项目、课题的任务目标开展工作，严格管理，加强合作联系，充分发挥各单位的优势，积极推动总项目的实施。（刘旭红）