GB/T 1554-1995 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

【 标准编号 】 GB/T 1554-1995
【 标准名称 】 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法 
【 英文名称 】 Test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques
【 发布单位 】 国家技术监督局
【 批准单位 】 国家技术监督局
【 发布日期 】 1995-4-18
【 实施日期 】 1995-12-1
【 开本页数 】 11P
【 替代标准 】 GB 1554-79; GB 4057-83
【 引用标准 】 GB/T 4058; YS/T 209
【 采用关系 】 ASTM F47-1988,EQV
【 起草单位 】 峨嵋半导体材料厂
【 起 草 人 】 曹宗瑞; 吴道荣; 陈永桐; 刘文魁; 王鸿高