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[工程参量] 请问:标准平晶的平面度如何计算?

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jier1 发表于 2009-12-10 21:50:31 | 显示全部楼层 |阅读模式
送检的标准平面平晶,直径150mm,给出的证书平面度数据为:
1-2截面:
+70mm:0; +48mm:-0.18um; 0:-0.12um; -48mm:-0.15um; -70mm:0
3-4截面:
+70mm:0; +48mm:-0.10um; 0:-0.13um; -48mm:-0.13um; -70mm:0

请问大家:标准平晶在96mm范围内的两个截面上平面度如何计算?
xqbljc 发表于 2009-12-10 22:43:56 | 显示全部楼层
本帖最后由 xqbljc 于 2009-12-10 22:45 编辑

1-2截面140mm的平面度为F140=0.18μm(凹,记做-);
3-4截面140mm的平面度为F140=0.13μm(凹,记做-);
1-2截面96mm的平面度为F96=f0-(f+48+f-48)/2=0.045μm(凸,记做+);
3-4截面96mm的平面度为F96=f0-(f+48+f-48)/2=0.015μm(凹,记做-)。
      注:所有兰色字均为下标,此标准平面平晶在96mm平面度,在1-2截面和3-4截面两个截面上凹、凸均有,应该讲做工作平晶的标准器已经不合适了,
            JJG28-2000平晶规程在4.2.1.2中 讲的很清楚:(2/3) d内的平面度应与总偏差方向一致,两个截面的偏差方向也应一致。
            至于标准平晶在96mm范围内的两个截面上平面度计算原理,就是将+70mm和-70mm上的两端点连线平移并旋转至+48mm和-48mm两位置即可。
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