用激光干涉仪检定三坐标单轴测量精度的具体步骤吗？

zhangmei · 发表于 2007-10-7 20:18:22

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九江风云 · 发表于 2007-10-9 21:33:08

用双频激光干涉仪校准时反应不出测头引入的误差，所以以量块校准为准。校准某个单轴误差时只能反应光栅尺的误差，校准时将干涉仪安装在测量轴上，操作测量机，在单方向上移动一段距离，将此仪器示值与激光干涉仪显示的数据比较，就得出误差。

zhangmei · 发表于 2007-10-14 17:19:38

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zhangmei · 发表于 2007-10-20 18:22:26

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zhangmei · 发表于 2007-10-22 21:08:31

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zhangmei · 发表于 2007-10-27 21:18:47

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zhangmei · 发表于 2007-11-11 10:34:45

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titmas · 发表于 2007-11-25 18:38:14

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上海计量员 · 发表于 2012-5-31 21:51:31

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[坐标] 用激光干涉仪检定三坐标单轴测量精度的具体步骤吗？