ZEISS UMC 850测量机。测量标准量块误差问题。

最近发现在测量标准量块时。以一面为基准。测量另一面时。（点和点。点和面）测量结果和量块值接近。可是用面和面时测量的值要大0.03左右。以前也测量过时好的。不只道现在出现了什么问题？