zygo干涉仪如何检定

计量民工 · 发表于 2011-4-8 13:28:40

型号为GPI XP4的zygo干涉仪如何检定
用什么型号等级的标准
在线等

caolb · 发表于 2011-6-25 18:05:12

用直径150mm的标准平晶，其平面度为波长/30

drymartiny · 发表于 2013-5-30 16:04:41

楼上确定么？

深圳渔民 · 发表于 2013-5-31 16:30:03

找国家计量院吧，他们有1/40的标准平晶。

lqxiaocat绿叶 · 发表于 2023-12-1 13:49:22

你好，请问有ZYGO干涉仪的检定规范吗

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[几何量仪器] zygo干涉仪如何检定