如何使用平面平晶檢測平面度

DUANBO · 发表于 2012-1-17 16:21:38

我們有一零件直徑323.0，平面度要求2μm.我們有直徑350mm平面平晶和鈉光燈箱。有誰檢過？謝謝了！

ggwudi · 发表于 2012-2-16 10:00:12

看干涉条纹

changjing · 发表于 2012-2-17 12:27:55

350的平面平晶，真漂亮！
我们只有小的，方法应该差不多的吧？

nmzzcd · 发表于 2012-2-19 20:13:26

检测时，将被测平面紧贴于平晶。两个表面都必须仔细擦净，使两表面之间可以形成一层极薄的空气膜。打开钠光灯，光束从光源发出，按一定角度投射入平晶。单色光源透平空气膜，就会产生明暗相间的干涉条纹。如果使用白光(自然光)作为光源，则显示出几种颜色的干涉条纹。一个光干涉带等于光波的半个波长，可用干涉条纹判别试件的平面度偏差。

cuigang · 发表于 2012-2-21 13:52:26

来看看！！！！！！！

旖旎 · 发表于 2012-2-22 21:20:02

回复 4# nmzzcd

您好，看到你的回复，有一点不明白，在自然光的条件下，得多少干涉带算合格呢？有没有标准要求什么的，请说明一下。谢谢

whmtiwws · 发表于 2012-2-29 19:25:22

建议你看一平晶检定规程

whmtiwws · 发表于 2012-2-29 19:26:34

不管是钠光还是自然光，半个波长取0.3μm

wangruichao · 发表于 2012-3-5 22:54:37

等厚干涉的话如果条纹都是直的而且间隔均匀，则说明平面度是好的。

yj407 · 发表于 2012-3-5 23:14:16

将平晶置于工件上贴好后，看干涉带，数干涉带的有几圈，只要不超过7圈就合格。

jyyx · 发表于 2012-3-17 11:38:27

怎么大的直径，清洁工作很关键。建议用小平晶千分尺熟练上手。

feierlxlx · 发表于 2012-7-1 23:36:07

回复 6# 旖旎

在5条~6条左右比较合理，这样可以得到更好的估计值。

长度室 · 发表于 2012-7-5 21:31:54

回复 10# yj407

测平面度怎么是看干涉带圈数呢？不是看干涉带弯曲度和干涉带间隔么。

小尼尼熊 · 发表于 2012-7-20 17:20:01

哈哈！！规程有干涉条纹计算公式的哦！！！！

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