JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范

【 标准编号 】 JJF 1351-2012
【 标准名称 】 扫描探针显微镜校准规范
【 英文名称 】 Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes
【 发布单位 】 国家质量监督检验检疫总局
【 归口单位 】 全国几何量长度计量技术委员会
【 发布日期 】 2012-06-18
【 实施日期 】 2012-09-18
【 开本页数 】 17P
【 替代标准 】 /
【 起草单位 】 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所；上海计量测试技术研究所；贵州计量测试院
【 起 草 人 】 朱振宇；任冬梅；傅云霞；李源；吕小洁