用于一等量块检定的柯氏干涉仪的改造

摘要：
介绍了经过改造后的柯氏干涉仪用于一等量块的检定.从激光干涉仪直接测量量块长度的原理出发,通过对于涉条纹的整数部分N、小数部分ε以及修正量C的确定,计算出量块长度.改造中结合激光干涉技术、图像采集判读等技术,提高了量块测量准确度,解决了一等量块长度测量问题.
作者：         裴雅鹏[1]     黄晓蓉[2]
Author：         PEI Ya-pen[1]    HUANG Xiao-rong[2]
作者单位：        
北京航天计量测试技术研究所,北京,100076
中国测试技术研究院,成都,610021