关于接触式干涉仪

在用干涉仪检量块时，量块可以直接放置在筋型工作台上吗，同事说可以，但是我怎么觉得不行，因为中间的筋要高出两边的0.3~0.6um，在测量o1 o2 a b c d几个点的时候，移动了应该会不准的吧

回复 1# airlm


    我觉得它是用点面接触的，这样测量的更准确。

师傅说是因为在检测薄量块时，有些量块如果是凸形，并且凸面向上，如果三筋工作台三筋一样高，这样测量时就会有较大的误差，因为下工作面的中心点没接触好。所以三筋工作台中间的高点，是为了使两个工作面的测量点都接触好。而且在检测薄量块时需要先用平晶判断量块的工作面是凹形还是凸形，在用接触式干涉仪测量时需要把凹面向下，使测量时两个工作面的测量点都接触好。这应该是完整正确的答案了。