白光干涉轮廓仪有检定规程吗

请教：白光干涉轮廓仪有校准规范吗？我主要是用该仪器测量工能测量y,z方向的尺寸，这种情况下，可以按影像测量仪校准规范进行校准吗？

目前只能按照ISO标准

有的：JJF（皖）146-2023白光干涉轮廓仪校准规范

有个JJF（苏）261-2023 光学显微干涉式三维表面形貌测量仪校准规范，适用于光学显微干涉式三维表面形貌测量仪（也叫白光干涉仪），看看合适不。国家的也起草了，还没公布。