纳米级测厚仪校准

namehsc · 发表于 2016-10-28 15:26:51

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各位量友大家好，前段时间遇到了济南安妮麦特生产的（9～80）nm的测厚仪，请问国家有相应的检规或规范，如何进行校准？所用标准器是什么，谢谢大家了，此仪器为接触式的

cuiyihua · 发表于 2022-6-29 11:14:59

没用过这么高精的仪器

lijuncnb66666 · 发表于 2022-6-30 15:47:03

精度太高了，需要专门配套的校准器吧，设备自带的那种，使用过μm的测厚仪，第三方校准机构证书上写的是JJF 1255-2010《厚度表校准规范》，不知道对你这种情况，有没有用。

237358527 · 发表于 2022-7-1 11:46:22

lijuncnb66666 发表于 2022-6-30 15:47
精度太高了，需要专门配套的校准器吧，设备自带的那种，使用过μm的测厚仪，第三方校准机构证书上写的是JJF ...

这种第三方校准机构就是在搞笑。

benfreejx · 发表于 2022-7-10 14:01:44

谢谢，学习了

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[几何量仪器] 纳米级测厚仪校准