用于扫描电子显微镜校准的10μm格栅样板

八一八

张晓东,赵琳,李锁印,韩志国,许晓青,吴爱华
中国电子科技集团公司第十三研究所
摘要：扫描电子显微镜是半导体领域用于关键尺寸测量的重要仪器。为了保证仪器量值的准确和一致，需要对扫描电子显微镜进行校准。首先，针对校准规范中提到的正交畸变和线性失真度参数，采用半导体工艺，研制了一种标称值为10μm的格栅样板。其次，为了准确评价格栅特征的一致性，研究了一种矩形检测算法。测量过程中，使用该算法对样板的格栅特征进行测量，并把使用原子力显微镜获取的测量数据作为参考值。实验结果显示：矩形检测算法能够快速检测出格栅特征，测试数据稳定在6 nm以内。此外，研制的格栅样板一致性好，一致性参数控制在0.2以内，能够应用于扫描电子显微镜的校准。