晶圆级台阶高度凹槽深度标准片校准规范征求意见稿

晶圆级台阶高度/凹槽深度标准片（以下简称标准片）是用来校准微电子集成电路领域微纳表面形貌测量仪的标准器（见图1）。其基底为硅晶片，通过对其表面氧化膜刻蚀得到台阶结构，可适应于接触或非接触式的各类表面形貌显微测量装置。特征结构位于标准片的中心，可通过辅助图形帮助快速定位。