[线纹] 激光干涉仪

实验室认可领域分类
仪器图片:
仪器名称:	激光干涉仪
英文名称:	Laser interferometer
型号规格:	XL-80
测量范围:	80m
等级:
分辨率:	1 nm
技术指标:	±0.5 ppm
生产厂家:	Renishaw
描述:	激光干涉仪是以激光波长为测量标准，进行位移、直线度、角度等几何量测量的高精度、多功能计量仪器。它是利用两束单频激光束，或两束具有微小固定频差的双频激光束，进行干涉测量的仪器。激光干涉仪包括激光头、电箱、光学组件、计算机、环境参数传感器、测量软件等。主要用于机床、加工中心、坐标测量机等设备的检测。
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相关标准:	JJG 739 激光干涉仪检定规程

GMT+8, 2025-5-2 04:47

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