新手指南人工找回密码

设为首页收藏本站强检目录社公标官方微信群切换到宽版

计量论坛»论坛 › ≡仪器信息≡ › 几何量测量仪器 › 大范围纳米测量机

发新帖

[线纹] 大范围纳米测量机

八一八 发表于 2024-8-22 14:14:00 | 显示全部楼层 |阅读模式

实验室认可领域分类
仪器图片:
仪器名称:	大范围纳米测量机
英文名称:	Millimeter measurement range metrological nano geometric structure standard device
型号规格:
测量范围:	10mm
等级:
分辨率:
技术指标:	2nm~20nm
生产厂家:	-
描述:	1) 位移台采用了“气浮-滑动混合位移台”的设计，保证了三维大范围运动时的平稳性，在垂直方向上无微振动，并且全行程内角摆误差减小到极小值; 2) 测头装置突破了商品化原子力显微镜测头采用的管状扫描器的局限，使用三维纳米位移台驱动，实现了正交、闭环扫描，使得测头量值可溯源; 3) 在干涉测量系统中，自研了光学 8 倍程激光干涉仪，提出了“谐波分离修正法”并已申请国家专利。最终毫米级装置具备了量值可溯源、大行程范围以及测头可实现三维正交扫描的特点。
相关文档:
相关标准:	/

微信截图_20240822140754.png

微信截图_20240822140741.png

回复

发新帖

小黑屋|手机版|Archiver|计量论坛 ( 闽ICP备06005787号-1—304所 )
电话：0592-5613810 QQ:473647 微信:gfjlbbs闽公网安备 35020602000072号

GMT+8, 2025-5-1 21:07

Powered by Discuz! X3.4

Copyright © 2001-2023, Tencent Cloud.

快速回复 返回顶部 返回列表