[电阻] 手持式四探针电阻率测试仪

实验室认可领域分类
仪器图片:
仪器名称:	手持式四探针电阻率测试仪
英文名称:
型号规格:	M-3
测量范围:
等级:
分辨率:	0.5%高精度
技术指标:	电阻率：0.010Ω~20.00kΩ;方阻：0.050Ω~100.0kΩ
生产厂家:	JG
描述:	四探针电阻率测试仪 (以下简称电阻率测试仪)，是用来测量半导体材料及工艺硅片的电阻率，或扩散层及外延层，以及绝缘衬底镀膜层方块电阻的测量仪器。它主要由电气部分和探头等部分组成。自动式测试仪还包括计算机及接口等部分，电气部分一般包括可调稳流源、A/D转换器、数字显示器、换向开关等仪器和部件。探头部分一般包括探头夹具、探头和样品台，其原理图及方框图如图1和图2所示。
相关文档:
相关标准:	JJG508 四探针电阻率测试仪检定规程

GMT+8, 2024-12-11 10:43

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