请问下大神们，激光干涉仪用什么校准

lqxiaocat绿叶 · 发表于 2024-10-25 16:23:31

请问下大神们，激光干涉仪用什么校准的。我目前是用平面平晶校准的，只有面型图案，没有数值，那没有数值的校准，该怎么做内部校准记录呀
微信图片_20241025162219.

7895123 · 发表于 2024-10-25 21:03:00

激光干涉比长仪

wleii · 发表于 2024-10-26 14:09:42

是不是等厚干涉仪？用激光做光源的，JJF 1100-2016 平面等厚干涉仪校准规范

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