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[线纹] 激光干涉仪

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兑水 发表于 2025-2-17 15:23:16 | 显示全部楼层 |阅读模式
实验室认可领域分类
仪器图片:
仪器名称: 激光干涉仪
英文名称:
型号规格: XL-80
测量范围:
等级:
分辨率:
技术指标: -
生产厂家: renishaw
描述: 激光稳频精度通过热控制技术将激光管的长度变化控制在几纳米的范围内,使精度在3年内保持在±0.05 ppm(百万分之一)。
线性测量精度在整个环境范围内,即在0 ºC - 40 ºC(32 ºF - 104 ºF)和650 mbar - 1150 mbar的范围内,精度为±0.5 ppm。XL-80能够以高达50 kHZ的频率读取数据,最高线性测量速度可达到4 m/s,即使在最高速度下线性分辨率仍可达到1 nm。
集成式USB意味着激光系统与计算机之间无需单独的接口。
LED状态指示灯位于激光头前部,可显示激光状态和信号强度,相当于将软件屏幕上的“状态显示”功能扩展到激光头上。
灵活切换标准 (40 m) 和长 (80 m) 距离模式。
模拟I/O端口允许传输模拟信号输出和触发信号输入。
预热时间少于6分钟。
外接开关电源允许输入电压在90V - 264 V之间变化。
CARTO软件包可以进行线性、角度、回转轴、直线度和垂直度测量。但其他测量模式则需要使用LaserXL软件。
相关文档:  
相关标准: JJG 739 激光干涉仪
本帖最后由 兑水 于 2025-2-17 15:29 编辑

规格
量程
范围
测量精度
分辨率
线性测量
0 m – 80 m

±0.5ppm
0.001µm
角度测量
0 m – 15 m
±175 mm/m
±0.002A±0.5±0.1M微弧度
±0.0002A±0.5±0.1M微弧度*
0.1µm/m
直线度测量
0.1  m – 4.0 m*
1 m – 30 m
±2.5  mm
±0.005A±0.5±0.15M2µm
±0.025A±5±0.015M2µm
0.01µm
0.1µm
回转轴测量
25转

±5µm/m
平面度测量
0 m – 15 m
±1.5 mm
±0.002A±0.02 M2µm
0.01µm
垂直度测量
±3/M mm/m

±0.005A±2.5±0.8 M微弧度
±0.025A±2.5±0.08 M微弧度
0.01µm/m

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