气体称重法流量基准

GFS 通用技术规范
供电要求
天平	100 至 240 V 交流，50 至 60 Hz，最大功率 27 W。功耗
LCM	100 至 240 V 交流，50 至 60 Hz，最大功率 40 W。功耗
MFC-CB	85 V 至 264 V 交流，50 至 60 Hz，最大功率 36 W。功耗
工作温度范围	15 到 25°C
湿度范围	5 到 70% RH（非凝结）
重量
花岗石表面（含支架）	大约 320 kg (700 lb)
系统其余部分	大约 70 kg (150 lb)
尺寸
花岗石表面（含支架）外围	150 cm 高 x 90 cm 宽 x 60 cm 深 (58 in. x 36 in. x 24 in.)
LCM	8 cm 高 x 22.5 cm 宽 x 20 cm 深 (3.1 in. x 8.9 in. x 7.9 in.)
MFC-CB	8 cm 高 x 22.5 cm 宽 x 20 cm 深 (3.1 in. x 8.9 in. x 7.9 in.)
GFS-FS	20 cm 高 x 41.4 cm 宽 x 20 cm 深 (7.9 in. x 16.3 in. x 7.9 in.)
支持的气体	氮气 (N2)、空气、氩气 (Ar)、一氧化碳 (CO)、氦气 (He)、氧气 (O2)、二氧化碳 (CO2)、四氟化碳 (CF4)、乙烷 (C2H6)、乙烯 (C2H4)、三氟甲 (CHF3)、六氟乙烷 (C2F6)、氢气 (H2)、甲烷 (CH4)、一氧化二氮 (N2O)、六氟化硫 (SF6)、氙气 (Xe)
流量测量范围	至少：
He、H2	100 sccm 到 10 slm
所有其他气体	10 sccm 到 10 slm
压力连接件 封壳的出口流量路径	1/8” Swagelok 管装置或等效装置，使用 1/4” Swagelok 管装置或等效装置的适配器
参考气体套筒压力极限	20 MPa (3000 psi)
CE 认证证书	提供，必须指定