《微位移传感器非线性测试技术规范》征求意见稿

微位移传感器用于测量微米乃至纳米级微小位移、形变、振动等长度尺寸，具有极高分辨率、稳定性及抗干扰能力等特点，常应用于精密制造业、自动化控制、生物医学及航空航天等领域。