SJ/T 11275-2002卧式液相外延系统通用规范

【 标准编号 】 SJ/T 11275-2002
【 标准名称 】 卧式液相外延系统通用规范  
【 英文名称 】 Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system
【 发布单位 】 中华人民共和国信息产业部
【 发布日期 】 2002-10-30
【 实施日期 】 2003-3-1
【 开本页数 】 11P
【 引用标准 】 GB 191; GBn 193; GB 5080.7; GB 6388; SJ/T 37-1996; SJ 1276; SJ 2573
【 起草单位 】 信息产业部电子第四十八研究所
【 起 草 人 】 袁章其; 刘日喜; 王理政; 李军阳