SJ/T 11181-1998净化涂胶台通用规范

【 标准编号 】 SJ/T 11181-1998
【 标准名称 】 净化涂胶台通用规范  
【 英文名称 】 General specification for resist-coating stage with purified room
【 发布单位 】 中华人民共和国电子工业部
【 批准单位 】 中华人民共和国电子工业部
【 发布日期 】 1998-3-11
【 实施日期 】 1998-5-1
【 开本页数 】 8P
【 引用标准 】 GB 191-90; GB 2681-81; GB 2682-81; GB 3768-83; GB 5226-85; GB 6388-86; SJ/T 142-1996; SJ/T 10152-91; SJ/T 10386-93; SJ 20385-93
【 起草单位 】 电子工业部半导体专用设备研究所
【 起 草 人 】 赵怀科; 黄燕