[求助] 光学显微镜的校验标准器

公司有几台光学显微镜，
主要用于测量IC的偏移量，
由于拿出去外校费用比较昂贵，
所以考虑内校，
请问校验的标准器应该如何选择？

用玻璃尺？光波干涉测长机（Laser Interferometer）？目镜测微器(Objective Micrometer)？
对于这几个工具，我也是比较困惑。。。
校验的方式应该怎样进行呢？
感谢!~