椭偏仪的结构和原理

jane_wang · 发表于 2008-8-12 15:56:52

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不知道有没有人用椭偏仪

Rie · 发表于 2008-8-12 20:54:28

此类仪器较多用于长度量的测量

kking · 发表于 2009-1-6 12:32:05

原帖由 Rie 于 2008-8-12 20:54 发表
此类仪器较多用于长度量的测量

椭偏仪一般是测试薄膜的厚度的...可到0.1nm级别.测试长度的椭偏仪倒没有听说过.

Rie · 发表于 2009-1-13 20:01:30

我说的是长度量，0.1nm不是表征长度的物理量吗。

[ 本帖最后由 Rie 于 2009-1-13 20:03 编辑 ]

shiftctl · 发表于 2020-4-29 15:23:41

没积分。。。。

shiftctl · 发表于 2020-7-3 17:11:32

kking 发表于 2009-1-6 12:32
椭偏仪一般是测试薄膜的厚度的...可到0.1nm级别.测试长度的椭偏仪倒没有听说过. ...

确实式测量厚度，本想再这个论坛搜索下这个资料的，看来用这个的人比较少

shiftctl · 发表于 2020-8-25 16:19:42

Rie 发表于 2009-1-13 20:01
我说的是长度量，0.1nm不是表征长度的物理量吗。

[ 本帖最后由 Rie 于 2009-1-13 20:03 编辑 ] ...

这个论坛能否专业点。
这个是基本半导体行业用于测量膜厚度的。标样基本是100nm的厚度膜。
而且涉及椭偏仪角度之类的，所以校准应该是涉及角度和膜厚还有折射率之类的。
目前我看了中国计量院好像有这个，还有光伏中心实验室也有部分有，应该是用标样片拿到现场比对下。
还不如自己拿标样去厂家那边跑一下数据。

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