请问手持式的四点探针如何校验

四点探针，专门量测＂面电阻＂的仪器。
请问如何做内校？

用电阻箱模拟面电阻值校准即可。

间距那么小，怎么模拟？需要专门订做的标准电阻测量吧

通过引线把电阻接到探针上即可，怎么接就要自己想办法了；至于引线的电阻是否需要修正就要看看测量的阻值大小以及测量的精度要求有多高了。

可依据检定依据：JJG508-2004四探针电阻率测试仪检定规程

谢谢各位的回复～

还有个问题～

有人告诉我，如果使用标准电阻进行四点探针的校准，那是针对仪器读值是否正确的校准；若使用产品来当标准片进行校准，会比较恰当。
请问以上说法正确吗？

由于我公司的原材属于 ITO FILM,所以，建立了一个ITO的标准片进行量测。但是。由于ITO的量测在10次以上后，阻值变的不稳，导致量测校验的结果令人怀疑！

JJG 508-2004 已下，研究中！谢谢您提供的讯息！感谢！

那是因为标准片经过多次测试后被探针扎了很多细孔，改变了标准片的面电阻率，所以说其实用标准片来做标准其重复性是很差的。

用标准电阻来校准四点探针测试仪，首先要知道该仪器测量电阻和显示电阻率之间的倍率关系，不然的话没有标准就无法知道校准结果是否满意了。

我以前遇到过一种这样的情况，四点探针电阻计拿出去校验，报告上给了 Ω  单位，但是 面电阻是 Ω/口，我当时打电话问了计量局 ，他们也不知道。我现在还想知道。说是有个换算的关系的。那个报告都不知道怎么验收了。

不能用电阻箱校准.只能用标准片校准.
就算知道倍率关系,但倍率关系和探针的间距等有关系,容易造成偏差.

规程要求用标准电阻率样片来校验，但是目前样片好像比较紧缺，不知哪儿有？