GB/T 16943-1997电子工业用气体 氦

【 标准编号 】 GB/T 16943-1997
【 标准名称 】 电子工业用气体 氦  
【 英文名称 】 Gases for electronic industry—Helium
【 发布单位 】 SBTS
【 批准单位 】 国家技术监督局
【 发布日期 】 1997-8-13
【 实施日期 】 1998-5-1
【 开本页数 】 4P
【 引用标准 】 GB/T 4844.1-1995; GB/T 5832.1-86; GB/T 5832.2-86; GB/T 6285-86; GB/T 8984.1-1997; GB/T 8984.3-1997
【 采用关系 】 IDT SEMI C3.20-92
【 起草单位 】 化学工业部西南化工研究院; 四川石油管理局六菱化工公司
【 起 草 人 】 佘中玉; 戴启文