GB/T 14604-1993 电子工业用气体 氧

【 标准编号 】 GB/T 14604-1993
【 标准名称 】 电子工业用气体 氧  
【 英文名称 】 Gases for electronic industry—Oxygen
【 发布单位 】 SBTS
【 批准单位 】 国家技术监督局
【 发布日期 】 1993-8-26
【 实施日期 】 1994-7-1
【 所属标准 】 GB
【 开本页数 】 7P
【 引用标准 】 GB 190; GB 3863; GB 4844; GB 5099; GB 5832.2; GB 6680; GB 6681; GB 7144; GB 7445; GB 8984; GB 8991; GB/T 14605; GB/T 14606
【 采用关系 】 SEMI C3 STD.16-86; C3 STD.17-86; C3.23-90
【 起草单位 】 化学工业部西南化工研究院
【 起 草 人 】 戴培述