GB/T 16596-1996 确定晶片坐标系规范

【 标准编号 】 GB/T 16596-1996
【 标准名称 】 确定晶片坐标系规范  
【 英文名称 】 Specification for establishing a wafer coordinate system
【 发布单位 】 国家技术监督局
【 批准单位 】 国家技术监督局
【 发布日期 】 1996-11-4
【 实施日期 】 1997-4-1
【 开本页数 】 5P
【 引用标准 】 GB/T 12964-1996; GB/T 16595-1996; SEMI E5-92; SEMI M1-94; SEMI M12-92; SEMI M13-88
【 采用关系 】 SEMI M20-1992,EQV
【 起草单位 】 中国有色金属工业总公司标准计量研究所
【 起 草 人 】 吴福立