GB/T 16527-1996硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

【 标准编号 】 GB/T 16527-1996
【 标准名称 】 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范  
【 英文名称 】 Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
【 发布单位 】 国家技术监督局
【 批准单位 】 国家技术监督局
【 发布日期 】 1996-9-9
【 实施日期 】 1997-5-1
【 开本页数 】 7P
【 引用标准 】 GB 191-90; GB 2828-87; GB 2829-87; GB 7238-87; GB 7239-87; GB/T 15871-1995; GB/T 15870-1995; SJ/T 10584-94
【 采用关系 】 EQV SEMI P3-90
【 起草单位 】 长沙韶光微电子总公司; 电子工业部标准化研究所
【 起 草 人 】 谈仁良; 吴保华; 王亦林; 韩艳芬