GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件

【 标准编号 】 GB/T 15861-1995
【 标准名称 】 离子束蚀刻机通用技术条件  
【 英文名称 】 Generic specification of ion beam etching system
【 发布单位 】 国家技术监督局
【 批准单位 】 国家技术监督局
【 发布日期 】 1995-12-22
【 实施日期 】 1996-8-1
【 开本页数 】 9P
【 引用标准 】 GB 191; GB 5080.7; SJ 142; SJ 1224; SJ/T 10152
【 起草单位 】 电子工业部长沙半导体工艺设备研究所
【 起 草 人 】 安志超; 廖温初