GB/T 15909-1995电子工业用气体 硅烷(SiH4)

【 标准编号 】 GB/T 15909-1995
【 标准名称 】 电子工业用气体 硅烷(SiH4)  
【 英文名称 】 Gas for electronic industry—Silane
【 发布单位 】 SBTS
【 批准单位 】 国家技术监督局
【 发布日期 】 1995-12-20
【 实施日期 】 1996-8-1
【 开本页数 】 7P
【 引用标准 】 GB 190; GB/T 3051; GB/T 5274; GB/T 5832.1; GB 7144
【 采用关系 】 EQV SEMI-93
【 起草单位 】 化学工业部西南化工研究院; 浙江大学材料系; 中科院半导体研究所
【 起 草 人 】 余京松; 佘中玉