GB/T 13840-92 晶片承载器

【 标准编号 】 GB/T 13840-92
【 标准名称 】 晶片承载器  
【 英文名称 】 Wafer carriers
【 发布单位 】 国家技术监督局
【 批准单位 】 国家技术监督局
【 发布日期 】 1992-12-28
【 实施日期 】 1993-8-1
【 开本页数 】 10P
【 引用标准 】 GB 191; GB 1173; GB 2828; GB 2829; GB 12670
【 采用关系 】 SEMI E1,REF; SEMI E2,REF
【 起草单位 】 机械电子工业部电子标准化研究所
【 起 草 人 】 廖温初; 邓益坤; 宋元善