GB/T 14141-1993 硅外延层扩散层和离子注入层薄层电阻的测定

【 标准编号 】 GB/T 14141-1993
【 标准名称 】 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法  
【 英文名称 】 Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array
【 发布单位 】 SBTS
【 批准单位 】 国家技术监督局
【 发布日期 】 1993-2-6
【 实施日期 】 1993-10-1
【 所属标准 】 GB
【 开本页数 】 4P
【 采用关系 】 ASTM F374-1984,EQV