text 发表于 2026-2-10 22:26:31

线纹尺测量系统

系统中的移动平台采用以压电电机驱动的空气轴承平台，全长800mm行程的直线度为0.9μm，重复精度达20nm；最大扭摆、俯仰和滚摆角误差分别为+/-0.5角秒。

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