微压活塞式压力计

技术资料
电源要求	FPG8601：85～264VAC，50/60 Hz，最大60 VA VLPC：85～264 VAC，50/60 Hz，最大70 VA
正常工作温度范围	20～26 ℃
环境温度稳定性	0.1 ℃/每分钟，最大变化率
重量	FPG8601平台：30 kg (66 lb) FPG8601 终端： 2 kg (4.4 lb)
VLPC压力控制器	41 kg (90.4 lb)
尺寸	FPG8601平台：53 cm 高×36 cm 宽×35 cm 深 FPG8601终端：12 cm 高×15 cm 宽×20 cm 深 VLPC 压力控制器：31 cm 高×51 cm 宽×53 cm 深
系统控制器	运行FPG Tools，Windows操作系统， RS232和 IEEE-488 接口，用于采集FPG 和 DUT 的数据
全压力量程	0～15 kPa表压、绝压、绝差压
测试介质	氮气或空气
模式转换时间	绝压至表压模式：30分钟 表压至绝压模式：1小时
振动	与传统的活塞式压力计相同，真空泵必须用软管连接
压力供给	活塞－套筒润滑气(FPG8601)：700～800 kPa，清洁、干燥的氮气或空气
	FPG参考真空（绝压模式）：涡轮泵：典型值为378 m3/h，极限压力为8.10-6 Pa
	回转式叶片泵：16.5 m3/h，极限压力为0.2 Pa
	VLPC压力源：700～800 kPa，清洁、干燥的氮气
	VLPC真空：10 m3/h @ 0.5 Pa
	驱动气（FPG8601和VLPC）：400～700 kPa 压缩空气
压力连接	测试高（FPG8601）：KF16 测试低（FPG8601）：KF16 真空参考（FPG8601）：KF25 真空（FPG8601）：1/8 in. NPT F 驱动/润滑（FPG8601）：1/8 in. NPT F 压力源（VLPC）：S1/8 in. NPT F 驱动（VLPC）：1/8 in. NPT F 真空（VLPC）：KF25

压力测量
全量程	0～15 kPa 表压、绝压、绝差压
温度影响	监测仪器温度，并在温度变化的速率和大小对性能影响明显时，发出报警。
分辨力	标准：0.010 Pa 高分辨力选件：0.001 Pa
典型压力测量 不确定度	标准： 表压、绝差压模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 读数) 绝压模式：± (0.025 Pa + 30 ppm 读数)
	高分辨力选件： 表压、绝差压模式：± (0.005 Pa + 30 ppm 读数) 绝压模式：± (0.008 Pa + 30 ppm 读数)
绝对模式下的典型残留真空	用涡轮分子泵：0.04～0.1 Pa 用回转式叶片泵：0.3 Pa～0.4 Pa

压力控制
控制范围（Pa）	表压模式：5个交叠的控制范围 最小压力：0 最小受控压力：0.1 Pa
	绝压模式：5个交叠的控制范围 最小压力：0.4～1 Pa 最小受控压力：2 Pa
控制精度	标准： 表压模式：± (0.020 Pa + 100 ppm 量程) 绝压模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 量程) 高分辨力选件： 表压模式：± (0.005 Pa + 60 ppm 量程) 绝压模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 量程) 注：控制精度为最差情况。绝压模式在较低范围时的常数更小。
标称测试容积	表压模式：最高20 cc/侧（高和低） 绝压模式：最高500 cc/侧（高和低） 压力稳定时间：1～2分钟，取决于测试容积

活塞模块
标称尺寸	直径：35 mm 面积：10 cm2
活塞材料	碳化钨
套筒材料	碳化钨
安装系统	非旋转，独立自定心，中央供气，润滑压力
活塞－套筒间隙	对称圆锥形间隙，双锥形，在中央润滑点为6微米，在活塞末端为1微米
润滑气体质量	清洁、干燥的氨气或空气，内部调整为40～70 %相对湿度
润滑气体压力	表压模式：40 kPa表压 绝压模式：40 kPa 绝压 润滑气流量：< 1 sccm 至高和低压力室

辅助测量
活塞－缸体温度(℃)	范围：0～40 分辨率：0.01 不确定度：± 0.1
残留真空(Pa)	范围：0 ～ 13 分辨率：0.001 不确定度：± (0.5 % 读数 + 5 MPa)

监控测量
润滑气体温度(℃)	范围：0 ～ 40 分辨率：0.1 不确定度：± 0.2
润滑气压力(kPa)	范围：0 ～ 200 绝压 分辨率：0.001 不确定度：± 0.1
润滑气湿度(%RH)	范围：5 ～ 95 分辨率：1 不确定度：± 10

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