扫描电镜线性失真度校准

请教大家一个问题，扫描电镜校准校准规范里线性失真度是用10微米二维栅格板，规定了在1000倍的倍率下测量，实际在这个倍率下测量栅格的X和Y方向误差手动误差比较大，个人建议应该在2000倍以上的倍率，或者用更大的栅格测量比较合理，这样可以减少人为测量误差。

只能说明这个机器的软件不行

个人认为可以选取客户常用的倍数下进行该项目的校准，但应在证书中说明。在校准规范的标准器选取中，该项目的倍数是一个范围。

有些厂商的图像像素分辨力较差，其1000倍数下，测量手动误差确实比较大，但所选取的栅格比较大，换算成百分比之后该值一般并不大，对于＜10%的技术指标一般很容易合格。检过的日立，菲希尔，蔡司极少超过2%的，国产的有些受现场环境影响和本身像素能力等因素，测出来5%。 感觉这个项目，从某些方面看出来仪器的内在能力